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《超高真空》
作者：崔遂先、王榮宗編著
出版社：化學工業(yè)出版社
出版時間：2013年11月1日
定價：￥68.00
點擊次數(shù)：4487次
作者簡介：

內(nèi)容介紹

本書共分6章。比較全面系統(tǒng)地闡述了超高真空技術(shù)涉及的氣體分子運動的經(jīng)典理論、主要常用公式，各類超高真空擴散泵、渦輪分子泵、濺射離子泵、低溫泵，超高真空閥門、擋板等元部件，超高真空測量，超高真空系統(tǒng)設計及維護運轉(zhuǎn)。

本書可供從事超高真空技術(shù)工作的專業(yè)技術(shù)人員、操作人員使用，亦可作為大專院校師生的參考書。

第1章超高真空技術(shù)概述

11氣體分子熱運動速度

12氣體分子的平均自由程λ

13氣體分子碰撞次數(shù)

131氣體分子之間(或電子與氣體分子間)的碰撞次數(shù)

132分子與器壁碰撞數(shù)（碰撞頻度）

14氣體壓力

15表面形成單分子層的時間

16氣體分子在材料表面的吸附

161物理吸附速率方程

162化學吸附速率方程

17脫附速率

171一級脫附速率

172二級脫附速率

18吸附等溫線（平衡狀態(tài)下吸附量）

第2章超高真空泵

21超高真空油擴散泵

211超高真空油擴散泵的極限壓力

212泵的返油率

213擋油帽

214擋板

215冷阱

216氣體的反擴散

217擴散泵油

218擴散泵油分餾裝置

219擴散泵的抽氣速率

2110擴散泵臨界前級壓力

2111擴散泵的加熱功率

2112擴散泵的不穩(wěn)定性

22渦輪分子泵

221渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)、抽氣原理

222分子泵的抽速和壓縮比

223渦輪分子泵極限壓力

224渦輪分子泵軸承及動平衡

225渦輪分子泵操作與運轉(zhuǎn)

226國產(chǎn)立式渦輪分子泵

23濺射離子泵

231濺射離子泵抽氣原理

232二極濺射離子泵的抽速

233二極濺射離子泵的極限壓力

234二極濺射離子泵的不穩(wěn)定性

235二極濺射離子泵的改進

236濺射離子泵的磁場與漏磁

237濺射離子泵的啟動特性

238濺射離子泵的預抽

239濺射離子泵的使用壽命

2310濺射離子泵性能參數(shù)

24低溫泵

241概述

242低溫泵的分類

243低溫泵的極限壓力

244低溫泵的抽速

245低溫泵的熱負荷

246低溫泵的制冷時間

247低溫泵工作壽命

248低溫泵的啟動壓力（轉(zhuǎn)換壓力）

249貯槽式低溫泵

2410氦流程低溫泵

2411小型制冷機低溫泵

第3章超高真空用法蘭、閥門、冷阱

31金屬超高真空法蘭

311Batzer密封法蘭

312角形密封法蘭

313Wheeler法蘭

314ConFlat法蘭

315階梯密封法蘭

316金屬密封法蘭標準

32氟橡膠密封超高真空法蘭

33真空管路及真空規(guī)管接頭

331超高真空管路接頭型式

332真空計規(guī)管接頭

333柔性管路

34真空傳動部件

341膜片、波紋管傳動

342磁力傳動

343磁流體傳動密封

344液態(tài)金屬密封

35電極引入部件、觀察窗

351電極引入部件

352觀察窗

36真空閥門

361真空閥門的分類

362真空閥門基本型號

363超高真空閥門

364擋板和阱

第4章超高真空測量

41概述

42全壓力測量

421超高真空全壓力測量的要求

422BA型熱陰極超高真空電離計

423其他超高真空熱陰極電離計

424冷陰極超高真空電離計

425超高真空校準

426測量方法及影響測量因素

43分壓力測量及氣體成分分析

431超高真空氣體成分分析及分壓力測量對真空質(zhì)譜計的要求

432常用術(shù)語及真空質(zhì)譜計主要技術(shù)指標

433超高真空用的質(zhì)譜計

434超高真空系統(tǒng)殘余氣體成分分析

435真空系統(tǒng)氣體組分的分壓力測量

436超高真空分壓力測量常用數(shù)據(jù)表

第5章超高真空系統(tǒng)

51概述

52玻璃超高真空系統(tǒng)

521超高真空常用玻璃

522玻璃的封接

523玻璃的放氣與除氣

524玻璃的滲氦

525玻璃真空系統(tǒng)制作

53金屬超高真空系統(tǒng)

531金屬超高真空系統(tǒng)設計

532超高真空抽氣機組

第6章超高真空系統(tǒng)檢漏、運轉(zhuǎn)與維護

61超高真空系統(tǒng)的安裝

62超高真空系統(tǒng)的檢漏

621真空系統(tǒng)（容器、部件）漏氣的判斷

622真空系統(tǒng)允許的最大漏率

623系統(tǒng)漏率的測量

624檢漏儀、檢漏方法和示漏物質(zhì)的選擇

625真空設備檢漏須知

63超高真空系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)

631超高真空系統(tǒng)的預抽（粗抽）

632超高真空系統(tǒng)烘烤除氣

633超高真空泵操作注意事項

634超高真空系統(tǒng)的維護

參考文獻

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