NRL60A干式真空泵
產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
- 產(chǎn)品名稱:NRL60A干式真空泵
- 產(chǎn)品編號:NRL60A干式真空泵
- 產(chǎn)品商標(biāo):
- 產(chǎn)品規(guī)格:NRL60A干式真空泵
- 參考價(jià)格:面議
- 更新時(shí)間:2024/10/9 15:53:25
- 點(diǎn)擊次數(shù):12300次
特長
● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
●
低噪音、低振動
● 優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
●
選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。
用途
◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)
◆
排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
◆
作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級泵)
◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣