大腔體等離子清洗機TergeoPRO可處理8英寸及以下基片
- 產(chǎn)品名稱:大腔體等離子清洗機TergeoPRO可處理8英寸及以下基片
- 產(chǎn)品編號:TergeoPRO
- 產(chǎn)品商標:PIE
- 產(chǎn)品規(guī)格:臺
- 參考價格:面議
- 更新時間:2024/3/4 13:48:54
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Tergeo Pro大尺寸臺式等離子清洗機
Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)將腔室直徑增加到 9 英寸(230 毫米)。腔室的深度增加到 13.4 英寸(430 毫米)。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)足夠大,可以容納 8 英寸晶圓,容納一兩個 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進行調(diào)整。射頻電源的頻率為 13.56MHz,提供比 KHz 射頻等離子系統(tǒng)更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統(tǒng)不僅可以調(diào)整射頻功率,還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子。脈沖比可以從 *** 調(diào)整到小于 1%?涿撌冶诮Y構可實現(xiàn)外部電容耦合射頻電極設計。
以下是典型應用案例:
光刻膠灰化、除渣和硅片清洗;
在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片;
生物醫(yī)用涂層前表面處理,提高醫(yī)用植入物的親水性;
環(huán)氧樹脂粘合前的光學元件、玻璃、光纖頭和基板清潔;
PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室;
改善金屬與金屬或復合材料的粘合;
改善塑料、聚合物和復合材料的粘合;
Tergeo Pro等離子清洗機的產(chǎn)品特點:
1.大型樣品室
***針對大尺寸基片而研發(fā)設計,腔室足夠大,可容納8英寸晶圓,一個或兩個 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。
2.等離子傳感器
可實時監(jiān)測等離子狀態(tài),并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋,實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監(jiān)測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。
3.連續(xù)或脈沖等離子
脈沖比可以從*** 調(diào)整到小于1%。改變等離子體強度超過幾個數(shù)量級。
4.***的過程控制功能
壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。
Tergeo Pro等離子清洗機的技術參數(shù):
艙體大小 |
內(nèi)徑230mm,外徑240mm,深度340mm,可容納一個8英寸晶圓, 一個或兩個 25片/50片 6"/4"晶圓的石英舟 |
艙體材質(zhì) |
標配為高純度圓柱形石英艙 |
樣品架 |
5mm厚高純石英板,尺寸寬度220mm x 長度280mm |
常用氣體 |
空氣,氧氣,氫氣,氬氣,氮氣和其他混合氣體 |
氣路控制 |
標配兩路MFC;***多可選配三路MFC,0~100sccm之間***控制氣體流量 |
控制系統(tǒng) |
7英寸電阻觸摸屏操作界面 |
程序控制 |
可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟 |
射頻頻率 |
13.56MHz |
射頻功率 |
標配0~150W,以1瓦間隔連續(xù)可調(diào),自動阻抗匹配;可選配300W或500W |
等離子源 |
等離子強度探測器實時定量檢測等離子狀態(tài);電阻耦合電離方式 |
電極設計 |
外置電極設計,可實現(xiàn)更大、更均勻的等離子體體積, 高壓電極不和等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染 |
設備電源 |
220 V/50Hz |